高达60,000件/小时
以最低成本实现最高生产力。这款晶片分选封带机的速度比市场上其他产品快20%,适用于晶圆级CSP/微型CSP应用。它可以处理超小型芯片,并且具有自动晶圆更换功能。ADAT3 XF DS可在不降低速度的情况下检测芯片的六个面,从而确保最后这一道关键工序的质量,同时又不会降低生产力或提高成本。
性能:
高达60,000件/小时
晶圆框架 (FFC)支持8至12英寸晶圆
胶带宽度
8 - 12 mm
侧面检测
芯片尺寸
最小:0.2 x 0.4 mm
最大:5 x 5 mm
可在大批量生产下维持高速度
自动更换APR产品
带上检测
自动卷轴更换器:可选
可追蹤每塊芯片:胶带 — 晶圆
自动配方下载(MES接口)
配備E142的SECS/GEM接口
速度
高达60,000件/小时(倒装或非倒装)
可用芯片范围
长x宽:0.4 x 0.2 mm至5 x 5 mm
纵横比:1:1 – 1:3
厚度:50 – 400 um
胶带可处理范围:
宽度:8 - 12 mm
间距:2 - 8 mm
厚度:0.18 - 0.5 mm
胶带规格:带袖珍孔的模压载体带、穿孔带、纸带、曲面带
热封:最高温度200℃,最大力度10 - 80牛顿(N)
自动卷轴更换、自动胶带切割器
系统精度
小芯片(≤ 1 mm):XY:1 σ xy ≤ 5 μm旋转:1 σ φ ≤ 1˚
大芯片(> 1 mm):XY:1 σ xy ≤ 5 μm旋转:1 σ φ ≤ 0.3˚
晶圆最大有效尺寸
晶圆尺寸:6 - 12英寸
晶圆框架:8 - 12英寸
钢/塑料晶圆框架 (FFC)
箔纸张力:可编程扩展器(8英寸:1 - 10 mm,12英寸:1 - 15 mm)
自动晶圆更换和扩展器
自动条形码读卡器
成像系统
摄像头数量:5
分辨率/视野(FOV),拾取和背面:5.0 MP摄像头(2.3 UM/像素),FOV 5.6 x 4.7 mm
分辨率/视野(FOV),焊接后:5.0 MP摄像头(4.6 UM/像素),FOV 11.3 x 9.4 mm
分辨率/视野(FOV),侧面:12.3 MP摄像头(2.3 UM/像素),FOV 9.4 x 6.9 mm
分辨率/视野(FOV),倒装芯片:5.0 MP摄像头(2.3 UM/像素),FOV 5.6 x 4.7 mm
分辨率/视野(FOV),密封后检测:1.3 MP(3.7 UM/像素),FOV 9.7 mm
密封后检测:密封线、定位孔、空、倾斜、主体轮廓、产品代码、标识、修琢
检测的最小目标:10微米(μm)
照明:红色灯环,同轴和背板灯
检测类别
程序模式:根据常用次品标准进行快速编程
次品处理:胶带图(E142)和次品箱
检测视图:5个摄像头:(1)拾取前,(2)背面和侧面,(3)前/凸点,(4)焊接后,(5)密封后
检测项目
芯片顶部相关:顶部修琢,背面修琢
已受损。芯片尺寸/芯片比率。划痕。芯片已断裂
变色。凸点检测(尺寸/连接/缺失)
背面相关:芯片对准(位置、尺寸和旋转)。背面修琢
表面检测:穿孔检测。激光标记检测。引脚A1
自动化:
晶圆图SEMI E142格式,可与SECS-GEM MPA互换
启动和参考芯片功能
自动更换产品
MES接口,包括自动配方下载
在生产期间监控关键工艺参数
参数失控时的自动停机功能
伺服、焊接力度和真空自动诊断功能,用于检查机器的健康状态
机器尺寸
长x宽x高:2200 x 2100 x 1250 mm3
净重:1850 kg