最大限度地减少晶圆切片工艺中的浪费和损失
市场上最经济高效的切片晶圆检测系统。借助高速和高精度的2D视觉扫描系统,PHIXEL WIF可以在不影响检测质量和精度的情况下,确保实现出色的吞吐量。此外,该检查系统可通过混合分析功能实现高级缺陷分类 (ADC),进而提高生产效率和竞争力。
PHIXEL WIF可提供晶圆切片后检测用于检查表面缺陷,或模压封装 (QFN/DFN) 切单后检测用于检查封装和标记缺陷。
应用
- 晶圆切片后检测用于检查表面缺陷
- 封装后切单检测封装、标记、引脚和电镀缺陷
主要特性
- 2D表面检测,固定摄像头
- 128线程处理器
- 支持高密度晶圆,高达500K芯片量
- 视野25 mm, 1.7 µm像素分辦率或0.85 µm使用像素提升技術
- 自动2D条形码读取
- 高端视觉性能
- 可在大批量生产速度下实现高通量
- 花岗岩底座检测工作支架
- 支持6英寸、8英寸、12英寸晶圆框架
- 自动晶圆图匹配
- 2个晶圓提籃(上料装置)
- 符合SEMI标准,采用SECS/GEM接口
成像系统
- 摄像头:16K线扫描单色照片
- 摄像头数量:1
- 分辨率/视野:
1.7 µm,FOV:25 mm/
3.4 µm,FOV:50 mm(可选) - FOV 25 mm 2个放大倍率选择或0.85 µm使用像素提升技術
- 检测的最小目标:2个像素分辨率
- 照明:同轴
检测类别
- 程序模式:根据常用次品标准进行快速编程
- 次品处理:电子晶圆图
- 检测视图:顶视图
检测项目
- 芯片相关:缺陷。损坏的凸点大于凸点面积的百分比。凸点直径。凸点接触短路。无凸点。划痕。探针痕大于凸点面积的百分比。芯片断裂。切口偏移。变色。