
最大限度地减少晶圆切片工艺中的浪费和损失
市场上最经济高效的切片晶圆检测系统。晶圆切片后的AOI具有超高速视觉扫描和高精度2D晶圆检测功能,可实现6英寸、8英寸和12英寸晶圆框架式薄膜载体匣的转换。它可确保切片晶圆的质量,实现快速的反馈回路,并避免降低晶圆良率。当需要考虑制造成本和质量问题时,这款切片晶圆检测系统可实现精准的晶圆供应,从而消除由于切片问题造成的晶圆损坏。WIF可进行晶圆切片后检测,用于检查表面缺陷,或进行封装后DFN切单检测,用于检查封装、标记、引脚和电镀缺陷。基于混合分析的高级缺陷分类(ADC)可提高生产效率和竞争力。
应用
晶圆切片后检测用于检查表面缺陷
封装后切单检测用于检查封装、标记、引脚和电镀缺陷
主要特性
2D表面检测,固定摄像头
128线程处理器
16K线扫描摄像头分辨率
支持高密度晶圆,高达500K裸片
FOV 50 mm,3.4 µm像素分辨率或0.85 µm放大图像
自动2D条形码读取
高端视觉性能
可在大批量生产速度下实现高通量
花岗岩底座检测工作支架
框架式薄膜载体支持6英寸、8英寸、12英寸晶圆
自动晶圆图匹配
2个载体匣(输入加载器)
符合SEMI标准,采用SECS/GEM接口
成像系统
摄像头:16K线扫描单色照片
摄像头数量:1
分辨率/视野:3.1 µm,FOV:52 mm
检测的最小目标:10 µm
照明:同轴
检测类别
程序模式:根据常用次品标准进行快速编程
次品处理:电子晶圆图
检测视图:顶视图
检测项目
裸片相关:修琢。大于凸点面积百分比的受损凸点。凸点直径。凸块接触短路。无凸点。划痕。大于凸点面积百分比的探测标记尺寸。裸片已断裂。切口移位。变色