为什么我们的芯片粘接解决方案能够脱颖而出?
关键工艺点设有多个摄像头,有助于对操作进行严密控制。这些摄像头可在不降低速度的情况下进行高清(高达5百万像素)检测。随着裸片和特征尺寸不断缩小,XY精度变得越来越重要,而这机器的XY精度低于5微米。
系统配备自动晶圆更换功能,适用于最大300 mm的晶圆,且符合SECS/GEM和MES接口标准。固有的通用性可进一步降低操作成本。我们将所有ADAT3机器均标记为XF (eXtra Flexible),因为它们可在各种应用中进行卷对卷、胶条对胶条以及其他类型的裸片粘接/贴片,您只需对其进行重新配置即可。因此,当您或您客户的需求有转变,您亦无需购买其他机器。
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